株式会社ジーダット

　　　　　　　　　　　 デバイス雑音測定ツール

NoiseProPlus/9812DX

9812DX: 全世界で100社以上が採用している業界のデファクトスタンダード
9812シリーズの最新機種

従来機9812Dシステムを、測定スピード・分解能・測定項目において拡張 :
システム分解能10倍、解析速度 3-10倍

● 200Vまでの高電圧、および 0.1nA までの微小な電流に対応　
● 測定下限周波数 0.03Hz を実現　
● システム分解能　<1×10-27A2/Hz　
● インピーダンスマッチング範囲 10-10MΩ　
● MOSFET (FinFET, FD-SOI)、BJT、 JFET、 ダイオード、抵抗、ICに対応　
● 16/14/10/7/5nmテクノロジに対応

NoiseProPlus

● 9812DX/D/B/A　および 主要IVメータをサポート　
● Cascade/SUSS/MPI /HiSOL社のプローブステーションに対応　
● マルチモード/マルチデバイス/マルチバイアスの自動測定をサポート　
● 1/f RTN 雑音の同時解析　
● 統計雑音モデル解析可能

■適用範囲

  • テクノロジ開発におけるプロセス品質モニタリング
  • Spice モデルパラメータ抽出における雑音解析
  • 先端回路設計におけるプロセス/デバイス評価

■主要諸元

  • 電圧LNA : <0.03-10MHz, 0.65nV/√Hz (@5kHz)
  • 電流LNA : <0.03-1MHz, 0.7pA/√Hz (@5kHz)
  • 高精度、または広帯域 電流LNA : オプション
  • 17種類のゲート/ベース抵抗、15種類のドレイン/コレクタ抵抗
  • プログラマブルバイアス電源フィルタ
  • 最大端子電圧/電流 : 100V, 100mA (標準), 200V, 200mA (オプション)
  • 最小直流電流分解能 : < 0.1nA
  • 標準雑音測定時間 : 10sec
  • ESD 保護素子内蔵
  • 16bit ADC/DSA, GPIBカード内蔵
  • インピーダンスマッチング範囲 : 10-10MΩ
  • RTN測定能力 : 最大960kポイント
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