半導体製造プロセスの最適化

半導体製造プロセスの最適化を実現する画像解析に特化したAIソフトウェア・スイート

Smart3

Software Suite

SEM、TEM、光学顕微鏡の画像に対して、協調型AIを使用した計測・検査を行い、半導体・ディスプレイ・装置・素材メーカーのプロセス最適化、独自技術開発、効率化、コスト削減を支援する拡張可能なソフトウェア・スィートです。

■Smart3 Suite が貢献できる分野

■ 装置メーカー（計測装置・プロセス装置）
  • SmartOEM3 を組み込むことで、高度な計測、検査自動化、リアルタイム最適化を実現し、産業ニーズに柔軟に対応できる “より高性能な装置”の提供
■ 半導体・ディスプレイ・データストレージ・高機能材料などの材料メーカー
  • 製造プロセスの最適化、品質向上、歩留まり向上。

■ Smart3 Suite とは

Smart3 Suiteは、計測・検査・プロセスデータを統合し、製造プロセスを最適化するモジュール型・スケーラブルなインテリジェントソフトウェアです。
中核のSmartOEM3（ローコード開発基盤） と Collaborative AI により、データ解析の自動化、リアルタイム制御、プロセス改善が実現します。

■ 共通モジュール
  • SmartMET3 ： 計測・重要パラメータ管理
  • SmartDEF3 ： 検査・欠陥／不適合検出
  • SmartYIELD3 ： 歩留まり最適化・ロス低減
■ IP（知的財産）創出

SmartOEM3 により、メーカー・材料工場・装置メーカーが独自アルゴリズムを開発し、自社IP（差別化技術）を創出・強化できます。

■ 装置メーカー（計測装置・プロセス装置）向け

計測装置、検査装置、プロセス装置、製造設備を提供するツールサプライヤ向けに、Smart3 Suite は データ活用・付加価値ソフトウェアの内製化・差別化機能の提供 を可能にします。
装置メーカーは SmartOEM3 を活用し、装置搭載ソフトや付帯アプリを 短期間で開発・カスタマイズ でき、顧客への付加価値（AI解析・自動補正・最適化機能）を強化できます。

主な効果
  • 装置向けAI解析アプリ・最適化アルゴリズムの短期開発
  • 自社装置の差別化（AI・自動補正・予兆検知）
  • 顧客ラインとのシームレスなデータ接続・統合
  • SmartOEM3 を用いた 独自アプリケーションのIP化
  • 装置性能の最大化・安定性向上・保守コスト削減
  • 装置売上＋付帯ソフト売上（サブスクリプション）の拡大

■ 半導体・ディスプレイ・データストレージの製造メーカー向け

ナノレベルの精度と高歩留まりが求められる分野において、Smart3 Suite はメトロロジー／検査／プロセスの高度な自動化を実現し、製造ばらつきの抑制と欠陥低減を支援します。

主な効果
  • リソグラフィ・エッチング・成膜・パッケージング工程の最適化
  • 欠陥削減と歩留まり改善
  • プロセスモニタリングとリアルタイム制御
  • 迅速で信頼性の高いAI解析
  • 業界基準への確実な適合