フォトマスク静電破壊検証のリリース

報道機関各位

2025年6月11日
株式会社ジーダット

フォトマスク静電破壊検証のリリース

　株式会社ジーダット（本社：東京都中央区、代表取締役社長　松尾 和利、以下「ジーダット」）は、2025年6月末リリース予定のSX-Meister PowerVolt(V19.0)で、フォトマスクの静電破壊検証を新たにリリースします。

　フラットパネル向けの大型フォトマスクの製造工程において、静電気によるパターン破壊が発生し、製造コストの大きなロスとなるケースがあります。これまで設計データ(CADデータ)を用いて事前に検証する方法はなく、品質、コスト面で大きな課題となっていました。

　ジーダットは、フォトマスクメーカからの要望に対して、フォトマスクの静電破壊リスクを検証する解析モデルを開発し、この解析モデルとPowerVoltのベースとなる、
・高精度な抵抗抽出機能
・論理演算・デバイス定義機能
・直流解析機能
を組み合わせることで、マスク製造前にCADデータ上でフォトマスクの静電破壊のリスク検証を世界で初めて実現しました。
　 これにより、製造コストのロスを大幅に削減でき、品質向上に大きく貢献します。

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以上