ProPlus Design Solutions が1/f雑音測定システムの新機種をリリース

報道機関各位

2017年1月13日
株式会社ジーダット

ProPlus Design Solutions が1/f雑音測定システムの新機種をリリース

株式会社ジーダット 本社：東京都中央区、社長：河内一往、以下「ジーダット」)が日本の総代理店を務めている、ProPlus Design Solutions Inc.（以下「ProPlus社」は、 新しいウェハレベル1/f雑音測定システムである9812DX(TM)を発表しました。9812DXシステムは、すでに業界のデファクトスタンダードとなっている9812D(TM)システムを、測定スピード・分解能・測定項目において拡張した、最高性能のシステムです。

現在、さまざまな先端テクノロジにおいて、複雑なプロセス品質のモニタリング、統計的雑音解析および先端回路設計に適合するために、雑音測定の必要性が爆発的に増加しています。この新しいシステムによって、雑音測定の膨大な負荷を軽減することができます。

本システムは、前製品である9812Dと比較して、システム分解能10倍、解析速度が3-10倍と性能向上しています。また、200Vまでの高電圧および0.1nAまでの微小な電流に対応しており、より広範な測定条件と対象デバイスに対応することができます。

ProPlus社 のChairman 兼CEO であるDr. Zhihong Liuは次のように述べています。「9812DXによって、われわれProPlus社は 1/f 雑音評価における業界のリーダとしてのポジションを強化し、現在および未来におけるプロセス開発・先端回路設計の要請に応えるべく拡張したシステムを提供します。9812DXは、スペック、性能と測定機能において、比肩しえないほどの技術的な飛躍をもたらします。」

【卓越した性能・機能】

9812DXは、オンウェハの雑音測定において、下限周波数 0.03Hz を実現し、真の10MHz帯域での測定を可能にしました。9812DXのオンウェハ測定におけるシステム分解能は1×10^-27A²/Hzと、9812Dの10倍もの精度で測定が可能です。測定可能なDC電流の最小値は0.1nAで、弱反転領域にバイアスされたデバイスや、フォトダイオードやイメージセンサの暗電流を測定する必要のある、コンシューマ、通信、自動車および産業向け先端システムに必要な特性を実現しています。

さらに、本システムは最高200Vまでの高電圧に対応し、測定可能な範囲ならびにデバイスの種類を拡張しました。測定可能なデバイスは、バルクMOSFET、FinFET、FD-SOI、バイポーラトランジスタ、JFETおよび、フォトダイオード、レーザダイオード、ツェナーなど種々のダイオードに加え、抵抗値の測定範囲は10～10Mオームにおよび、電圧制御抵抗素子や集積回路にも対応しています。

9812DXは、16nm/14nm/10nm/7nmの最先端テクノロジにおいても、さまざまなインピーダンスのデバイスを扱える、市場で唯一のシステムです。

【最高速の雑音測定システム】

9812DXは、オンウェハ雑音測定において、１バイアス条件あたりの測定時間は10秒以下と、9812Dの３倍から10倍の高速化を実現しています。この高速化を達成するために、ソフトウェアアルゴリズムとハードウェア構成を刷新しました。この高速化により、プロセス品質のモニタリング、統計的雑音解析および先端回路設計に適合するために増大する雑音測定の負荷を大幅に軽減します。

ProPlus社はまた、雑音測定スループットを拡大するための並列測定システム M9800を提供しています。単体の9812DXシステムに比べて、２～４倍のスループット向上が実現できます。

【1990年代から最も支持されている雑音測定システム】

ProPlus社は、1990年代後半に最初に導入した9603システム以来、雑音測定システムを提供しています。相次いで発表した9812A,9812Bシステムは、全世界で100社以上の半導体会社・研究機関に採用されており、15年以上にわたって最も支持され続けている雑音測定システムです。 2013年に登場した9812Dは、主要ファウンドリ、IDM(垂直統合型デバイスメーカ) 、ファブレス半導体会社の間で続々と採用され、デファクトスタンダードとなりました。

ProPlus社は、この9812DXシステムを、2016年12/3～7の間にサンフランシスコで開催された2016 IEEE International Electron Device Meeting (IEDM)において、同社の先進的ナノスケール Spice シミュレータと共に展示・デモンストレーションを行いました。

【出荷予定】

現在すでに9812DXは注文を受け付けており、2017年1月から出荷の予定です。

■ ProPlus Design Solutions Inc.（ProPlus社）概要

ProPlus社は、半導体デバイスの進化し続ける製造技術と、自由な設計手法の間にある壁を取り払うことを使命として、様々なEDA（Electronic Design Automation）ソリューションをお届けします。
ナノスケールのSPICEモデリング、革新的なギガスケールのSPICEシミュレーションおよび歩留り解析(DFY: Design-for-Yield)の分野におけるリーディング・プロバイダーとして、業界標準なSPICEモデリングプラットフォーム、業界初・唯一のギガスケール対応SPICEシミュレーター、および統合化されたDFY解析プラットフォームを提供しています。

ProPlus社は2006年に設立され、本社サンノゼ・カリフォルニア（米国）のほか、北京・上海（中国）、新竹（台湾）、東京においてビジネスを展開しています。また、現在、本社サンノゼ、北京・済南（中国）に研究開発センターを設けています。
ProPlus社についての詳しい情報は、http://www.proplussolutions.com をご覧ください。

■ 株式会社ジーダット（Jedat Inc.）概要

ジーダットは、日本におけるProPlus社の独占販売代理店であり、同時にアナログ/ミックスド・シグナル、パワーデバイス、LCDドライバやメモリなどカスタムLSIの設計自動化環境「SX-Meister series」を提供しています。カスタムLSI設計に特化した自動合成技術により、SX-Meister の自動化アプローチは、過去に適用が困難であった領域に著しい改善をもたらしました。すべてのツールは制約ドリブンデータベースに統合されているので、蓄積された設計ノウハウを再利用することで、大幅な設計品質の向上と時間短縮を実現します。販売とサポートパートナーは、ソウル（韓国）、上海（中国）、新竹（台湾）および米国西海岸に位置しています。詳しくは：https://www.jedat.co.jp をご覧ください。

所在地：東京都中央区東日本橋 3-4-14 OZAWAビル
設　立：2004年2月2日
資本金：760,007,110円
代表者：代表取締役社長　河内一往
事業内容：半導体・FPD向けのCADソフトウェア（EDA）の研究、開発、販売およびコンサルテーション
URL：https://www.jedat.co.jp

■ 本件に関するお問い合わせ先

株式会社ジーダット　営業技術本部　営業技術２部　六川　裕幸
TEL：03-5847-0314

以上