株式会社ジーダット

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DFM・マスク検証

DFM・マスク検証

大日本印刷株式会社ロゴ
大規模データ対応解析ブラウザ

HOTSCOPE

100Gバイトを超える超大規模データを短時間でオープン・高速表示
各種解析機能による総合的なLSI解析と情報共有の推進
高機能API、高級スクリプト言語AXELによる高い拡張性
・大規模対応
・マルチフォーマット
・多様な解析機能
・等電位追跡・回路図生成機能
HOTSCOPEイメージ

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株式会社数理システムロゴ
断面形状シミュレータ

PARADISEWORLD-2

PARADISEWORLD-2イメージ
マスクレイアウトからLSI断面形状を高速シミュレーション
・レイアウト画面上で指定した2点間の断面形状を簡単に表示
・ダスト・欠損を想定したシミュレーションが可能
・簡単な工程のみの登録で、プロセス条件等の複雑な設定は不要
・チューニングにより、SEM画像とほぼ同じ形状をシミュレーション可能
・3Dオプションにより、指定した2点の矩形領域を3Dで表示
・容量オプションにより、配線間の容量・配線抵抗を算出
・LSI、FPD、磁気ヘッドなどの幅広い分野に対応

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