大規模データ対応解析ブラウザ  HOTSCOPE
100Gバイトを超える超大規模データを短時間でオープン・高速表示 各種解析機能による総合的なLSI解析と情報共有の推進 高機能API、高級スクリプト言語AXELによる高い拡張性 大規模対応 マルチフォーマット 多様な解析機能 等電位追跡・回路図生成機能 高速ポリゴンベース論理演算パッケージ：HOECHECK
CMP膜厚分布解析ツール  CMP-Designer
CMPプロセス、設計ルールの最適化 CMP研磨による膜厚分布を高精度に解析 平坦性の予測や、ディッシングによるCu膜厚の減少による抵抗増加などの正確な予測が可能 層間膜CMP、STI-CMP、Cu-CMPの単層・積層モデルに対応 先端Cu/Low-k対応 自動キャリブレーション
断面形状シミュレータ  PARADISEWORLD-2
マスクレイアウトからLSI断面形状を高速シミュレーション レイアウト画面上で指定した2点間の断面形状を簡単に表示 ダスト・欠損を想定したシミュレーションが可能 簡単な工程のみの登録で、プロセス条件等の複雑な設定は不要 チューニングにより、SEM画像とほぼ同じ形状をシミュレーション可能 3Dオプションにより、指定した2点の矩形領域を3Dで表示 容量オプションにより、配線間の容量・配線抵抗を算出 LSI、FPD、磁気ヘッドなどの幅広い分野に対応
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