ステッパ方式の露光装置向けレチクル設計を強力に支援   ● 面取りの検討   ● レチクルセルの作成   ● ステッパ方式に伴うパネル分割
レチクルフロアプランツール  α-SX FineRFP
レチクル設計を強力に支援 セル自動分割とブラインド・補助パターン自動生成 ショット配置の検討が容易 ガラス基板とレチクル間のクロスプローブ 豊富なチェック機能 ステージ移動可能量、ストロークを考慮した露光可能性チェック、 ブラインド領域チェック、ショット間クリアランスチェック、 ストローク違反チェック レシピ情報を出力（ショット、アライメントマークの中心座標出力〈CSV、Text〉）
ガラスフロアプランツール  α-SX FineGFP
多面取りガラス基板設計を強力に支援 基本ショットとレチクルパラメータからガラス基板を設計 多面取り条件を追求し易い機能を装備 ガラス基板、レチクルセル出力 ガラス基板とショット情報から最適なレシピ情報の見積もり ガラス基板とレチクルから面付け、レシピ情報を出力 レシピ情報からショットをハイライト
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