株式会社ジーダット

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レチクル設計

レチクル設計

ステッパ方式の露光装置向けレチクル設計を強力に支援

  • ● 面取りの検討
  • ● レチクルセルの作成
  • ● ステッパ方式に伴うパネル分割
SX-Meisterロゴ
レチクルフロアプランツール

SX-Meister FineRFP

レチクル設計を強力に支援
・セル自動分割とブラインド・補助パターン自動生成
・ショット配置の検討が容易
  • ガラス基板とレチクル間のクロスプローブ
・豊富なチェック機能
  • ステージ移動可能量、ストロークを考慮した露光可能性チェック、
    ブラインド領域チェック、ショット間クリアランスチェック、
    ストローク違反チェック
・レシピ情報を出力(ショット、アライメントマークの中心座標出力〈CSV、Text〉)
αーSX FineRFPイメージ
SX-Meisterロゴ
ガラスフロアプランツール

SX-Meister FineGFP

多面取りガラス基板設計を強力に支援
・基本ショットとレチクルパラメータからガラス基板を設計
  • 多面取り条件を追求し易い機能を装備
  • ガラス基板、レチクルセル出力
・ガラス基板とショット情報から最適なレシピ情報の見積もり
・ガラス基板とレチクルから面付け、レシピ情報を出力
・レシピ情報からショットをハイライト
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