ジーダットが扱うDFMツールには下記のものがあります
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「超高速フォトマスクデータブラウザ」 HOTSCOPE |
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フォトマスクデータの超高速ブラウザです。OPC処理後の超大規模なデータについても高速に扱えます。設計データ、マスク データ、各種装置データを重ねることで、データの解析が可能です。
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「ホットスポット自動解消ツール」 Takumi Enhance/HSF |
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ホットスポット解析ツールから抽出された情報を元に、レイアウトを最適化してホットスポットを自動的に除去するツールです。
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「高速歩留まり解析ツール」 EYES/PEYE |
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歩留まりの解析ツールです。EYESは、サンプリングアルゴリズムによるチップ全体の高速解析、PEYEはホットスポットに対する詳細解析を行うツールです。
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「CMPモデルベース設計システム」 CMP-Designer |
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CMPモデルベースの高速・高精度な膜厚シミュレーションにより、必要最小限のダミーパターンの挿入を行う、設計システムです。
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「LSI断面形状高速シミュレータ」 PARADISEWORLD-2 |
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LSI断面形状の、二次元、三次元での高速シミュレーションツールです。パターン設計の検証、プロセス開発時の故障解析等に有効なツールです。
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