テストチップ開発期間を1/10以下に短縮
設計ミスによる開発コスト（マスク、ウェハー・リスピン）削減
再利用性と次世代プロセスへの容易な展開
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| ■ TEGpertの主な特徴 |
- 対話技術(GUI)と自動化技術を融合した使い易いTEG設計I/F
- TEG生成仕様ドキュメント・測定ファイル自動生成
- 高速な自動配置配線処理性能
- プロセス展開、チューニングが容易なTEG配置、評価デバイス定義
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| ■ サポートプラットフォーム |
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- Windows-XP, Windows-Vista
- Solaris8/9/10(sparc), Solaris10(x86_64)
- RedHat Enterprise Linux 3 32bit, RedHat Enterprise Linux 3/4/5 64bit
- SUSE Linux 64bit
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主な機能
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● GUIによる容易なパラメタライズド・評価デバイス定義
- ○ 最先端プロセスに対応したトランジスタ、チェーン抵抗、配線抵抗、容量等のデバイスパターン定義
● GUIによる容易なTEG生成パラメータ設定と自動生成
- ○ 配置パラメータの詳細設定と自動配置
- 測定装置に合わせたテストライン（デバイス自動配置）・プローブライン（パッド自動配置）の設定および評価デバイス生成パラメータの設定
- ○ 配線パラメータの詳細設定と自動配線
- ○ 測定パッドと評価デバイス間の自動配線パラメータ設定と自動配線
- － 局所的なメタルの高占有率防止のためのメッシュ配線機能
- － 評価デバイスの測定誤差防止のための低抵抗化、EM防止を目的としたテーパ配線機能
- ○ 各種設定パラメータのCSVファイルによる入出力
● CSVファイルを利用したテストチップ自動生成および再利用
- ○ CSVファイルを再利用（設定パラメータ変更等のみで）した容易なプロセス展開
- ○ CSVファイルを使用したバッチ的なTEG自動生成
● TEG仕様・測定用ドキュメント生成
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