チップ設計・製造に必須なデータ解析ブラウザ
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微細化/高集積化が進み、大規模LSIのレイアウトデータは百ギガバイト規模になっています。さらに、複雑なOPCパターン、ダミーパターンにより、最終工程ではテラバイトに迫るデータ規模にもなります。
HOTSCOPEはこのようなテラバイト規模の大規模な設計データ、マスクデータを高速にオープンし、表示倍率に関わらず高速・高品質に表示します。最近の機能拡張では、各種の解析機能を実装し、増加しつづける大規模LSIデータのチェック効率を大幅に向上させることを目指します。
V7.6でレイアウトデータからの回路図生成機能に加え、ネット・インスタンスの表示制御もサポートし、より見やすい回路図とすることができるようになりました。さらに、V7.8では、高速なポリゴンベースの論理演算パッケージ:HOTCHECKをご提供します。
レイアウト設計/マスク製造/IC製造間/故障解析などの全てのLSI開発工程での情報共有をさらに推進し、さらなる効率化を図るため、次世代LSIデータ検証プラットフォームを目指します。
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特長 |
| 大規模対応 |
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1ファイルがテラバイトを超える超大規模ファイルや、OSの制限である1プロセスでオープン可能なファイル数(1024)を超えるパターンを張りつけたJOBファイルなどもストレスなく表示します。 |
| マルチフォーマット |
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フォーマットの異なるパターンデータやJOBファイル等をオープンでき、画面上で重ねて表示する事ができます。設計データ(GDS)と描画データの比較や、描画データとフォーマットの異なる検査データの比較等を容易に行なう事ができます。 |
| 高機能 |
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データチェックに必要な各種測長機能、CDBOX機能、カラーリング機能、断面解析機能、画像表示・画像解析機能などを提供します。 |
| 等電位追跡・回路図生成機能 |
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高速な等電位追跡機能を提供します。デバイス認識・セル認識・ネットリスト生成を行うことで、インクリメンタルな回路図生成を実現しました。表示要素の制御もでき、LVS解析・故障解析などの各種解析を協力に支援します。 |
| 高速ポリゴン演算処理機能:HOTCHECK |
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ポリゴンレベルの図形演算・簡易チェック機能を提供します。通常の図形処理の他、リアルタイムなパターンマッチング機能も実現しています。さらにマルチ処理による高速化も可能です。 |
| オープンアーキテクチャ |
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AXELスクリプトやAPIパッケージを提供します。GUIを含めたユーザ環境のカスタマイズやユーザ独自機能の作成・追加だけでなく、他社ソフトや装置との連動も可能となります。 |
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最近の機能拡張 |
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レイアウトデータからのインクリメンタルな回路図生成 (配線長計測、VIAカウント、VIAチェック、NetDRC) (デバイス認識、セル認識、ネットリスト生成) |
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レイアウトデータと生成した回路図データとのクロスプローブ |
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ネット/インスタンスの表示制御による見やすい回路図表示 |
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gzip圧縮データの直接オープン |
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ExtendedMEBESJOB対応 |
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高速ポリゴンベース演算パッケージ:HOTCHECK |
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主な機能 |
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JOB、パターン、セル、画像の合成表示(ミラー、回転、倍率) |
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マルチウィンドウ(複数ウィンドウ表示、ナビゲーション表示) |
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各種計測測定(頂点・辺・図形、短寸法、角度)、マルチ計測機能 |
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カセット表示、ペリクル表示 |
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面積計算(指定領域の面積、面積率) |
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補助線表示 (X・Y・XYライン・斜め・真円表示、等間隔追加機能) |
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ビットマップ演算(OR, AND, XOR, NOT, OR+, AND+, XOR+, NOT+) |
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エラートレース(Calibre/Herculesエラーファイル) |
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GDS切出し、OASIS切出し |
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一括検索/逐次検索(図形、セル、セル名称、テキスト) |
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等電位追跡、インクリメンタル回路図表示、クロスプローブ、回路図ネット・インスタンスの表示制御 |
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各種カラーマップ表示(密度マップ、等電位追跡他) |
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断面プロファイル表示 |
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CD測定スクリプト生成機能(CDBOX設定、スクリプト・FOV出力) |
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画像表示/画像処理(輪郭抽出、計測、面積計算、GDS化) |
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リモート表示(LANベース・Webベース、情報共有) |
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AXELスクリプティング(GUI対応、他ツールインターフェイス) |
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カスタム機能拡張、独自ドライバ開発 |
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機能拡張API、ドライバAPIなど等電位追跡 |
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サポートフォーマット |
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MEBES(MODEI/II,EXT,RETICLE,MODE5)パターン/ジョブ ExtendedMEBESJOB |
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HL(700, 800, 950, 7000)パターン/ジョブ |
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VSB8パターン/ジョブ、 VSB11パターン/ジョブ、VSB12パターン/ジョブ、東芝EBフォーマット(Ver1.0, Ver20.0) |
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JEOL(6AIII, 7000MV, 9000MV)パターン/ジョブ |
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MIC |
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OASIS(OASIS.MASK)、MALYジョブ、P10ジョブ |
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GDS2データ(レイヤとデータタイプの組合せで1024まで) |
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LEF/DEF |
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Calibre/Errorログファイル |
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各種画像データ |
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サポートプラットフォーム |
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Sun Microsystems Solaris 8、 9、10(Sparc/AMD) |
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Red Hat/Linux-8/-9、 EP3.0、EP4.0、EP5.0_32bit/64bit_SuSE-9/-10 |
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Windows-XP, Windows-7 |
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